震荡器(下称XO)是一类运用谐振器和谐振电路形成塔钟讯号的有源电子元器件，因为塔钟讯号需要稳定，因而頻率稳定是震荡器性能的重要指标值之一，即頻率随溫度的变化。除标准震荡器以外，还能够将独特功能加入到XO中组成特殊震荡器，如SsXO或VCXO和DcXO。MEMS面世以前，石英是震荡器应用的主要工艺。表层音波也主要用以高頻低颤动震荡器。MEMS工艺如今普遍用以各类震荡器，包含超低功耗kHzXO、超低颤动差分XO、系统可编XO，以及超稳定TCXO和OCXO。

MEMS塔钟工艺对5G的必要性

在网络和通讯中，时序同歩对整个系统极其重要，MEMS塔钟的弹力保证稳定性能，对缺乏控制，更严格的环境中布署5G尤为重要。稳定性和动态性能的同样需要促进了车辆中愈来愈多地应用MEMS谐振器，这类状况下系统必需在各类严格条件下可靠运作。在物联网行业，MEMS塔钟具备体型小、重量较轻和低功耗的优势。

伴随着我们进到5G和边缘计算时期，营运商的无线网络设备需要更严格的数据同步，因而必需应用OCXO。5G以前，这类OCXO布署在控制优良的环境中。如今计算、关键网络和无线拆分成系统，布署在不受控制的环境中，如信号塔、房顶和灯柱。这类环境下，OCXO将受到震动和极端溫度的影响，布署构架的这类变化需要新的考虑，以及评定MEMS和石英定时工艺的优势。